Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Также это изделие может называться: МШПС2.0К, МШПС 2.0 К, mshps-2.0k, mshps2.0k, mshps 2.0k.
МШПС-2.0Кмера ширины и периода специальная предназначена для передачи размера единицы длины и калибровки (поверки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Сфера применения: микро-, опто-, наноэлектроника, нанотехнология, микромеханика, фармацевтика и микробиология, производство полимеров и генная инженерия, создание наноструктурных материалов, оснащения органов государственных и метрологических служб.
Технические характеристики МШПС-2.0К:
Диапазон передачи размера единицы длины - от 10-9 м до 10-4 м.
Номинальное значение шага шаговой структуры меры - 2 мкм.
Калибровка РЭМ (5 мин.):
- увеличение;
- диаметр электронного зонда.
Калибровка АСМ (5 мин.):
- цена деления по X-, Y-, Z-координатам;
- радиус острия кантилевера;
- линейность и ортогональность осей сканирования.
Допустимое отклонение МШПС-2.0К от номинального значения шага шаговой структуры - ±0,05 мкм.
Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры - от 10 нм до 500 нм.
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах МШПС-2.0К - от 100 нм до 1400 нм.
Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры - от 75 нм до 980 нм.
Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры - не более 5 нм.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размеров - ±2 нм.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера - ±1 нм.
Геометрическая форма элемента рельефа шаговой структуры - трапеция с углом наклона боковых сторон относительно плоскости нижнего основания 54,7°.
Габаритные размеры меры МШПС-2.0К без оправы - 10×10×0,5 мм.
Масса меры с оправой - не более 0,009 кг.
Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха - от +17° С до+23° С.
Относительная влажность - от 50% до 80%.
Атмосферное давление - от 96 Па до 104 Па.
Меры МШПС-2.0К представляют собой совокупность пяти групп рельефных шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 10 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости. Имеют маркерные линии и цифры, позволяющие однозначно находить измеряемый элемент рельефа.
ДОСТАВКА
Вы можете выбрать любой наиболее удобный способ из перечисленных ниже:
Доставка до терминала ТК «Деловые линии» осуществляется нами бесплатно.
ОПЛАТА
Мы принимаем оплату:
Цены на поставляемые нами товар всегда ниже, чем у наших конкурентов.
Условия гарантийного обслуживания
Гарантия не распространяется на ущерб, причиненный другому оборудованию, работающему вместе с данным изделием.